高纯氮 纯度：99.999% 高纯：99.9999%

中文名 高纯氮

英文名：high purity nitrogen

性质：纯度大于99.999%。无色无臭无味无毒的惰性气体

相对密度：ds(21.1℃，空气=1)0.967

气体密度：1.153kg/m3(21.1℃，101.3kPa)

液体密度：808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)

CAS注册号：7727-37-9

相对分子质量：28.013

熔点：63.15K,-210℃,-346oF

沸点：101.325kPa(1atm)时 77.35K,-195.8℃,-320.44oF

在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作?；て驮嗽仄?，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的?；て?。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中，液氢加注系统必须先用高纯氮置换，再用高纯氦置换。

迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器。不要直接接触泄漏物。尽可能切断泄漏源。防止气体在低凹处积聚，遇点火源着火爆炸。用排风机将漏出气送至空旷处。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。用雾状水保持火场中容器冷却?？捎梦碜此缌芗铀僖旱舴?，但不可使用水枪射至液氮。如吸入高纯氮，感到呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。